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日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測(cè)儀Smart
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測(cè)儀Smart
可攜帶至現(xiàn)場(chǎng)的手持式 可測(cè)量0.1μm單位
具有形狀的樣品也可非破壞的測(cè)量

產(chǎn)品型號(hào):Smart膜厚儀

更新時(shí)間:2025-04-10

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

訪 問(wèn) 量 :416

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產(chǎn)品介紹

 可攜帶至現(xiàn)場(chǎng)的手持式

日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測(cè)儀Smart
● 可測(cè)量0.1μm單位

● 具有形狀的樣品也可非破壞的測(cè)量

● 不論基材材質(zhì)、可測(cè)量其鍍膜

日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測(cè)儀Smart
與桌上型光學(xué)膜厚儀相比,Smart膜厚儀在“現(xiàn)場(chǎng)"以非破壞式直接量測(cè)樣品,且可以量測(cè)特殊形狀樣品。
與接觸式膜厚儀相比,Smart膜厚儀不僅不會(huì)破壞您的樣品,也不會(huì)因用戶不同而產(chǎn)生誤差且遠(yuǎn)高于接觸式膜厚的量測(cè)精度。
與渦電流/電磁式膜厚儀相比,Smart膜厚儀不需要制作檢量線,且可以量測(cè)非金屬基材并且得到絕對(duì)值!

非接觸式載臺(tái)

對(duì)于濕膜或半導(dǎo)體晶圓等不想接觸的樣品,可以通過(guò)自由設(shè)定探頭位置進(jìn)行非接觸測(cè)量。

產(chǎn)品開(kāi)發(fā)-量測(cè)試作品

1.攜帶到合作廠商等,直接在現(xiàn)場(chǎng)量測(cè)效率Up

2.試作階段的檢查方法商定效率Up



規(guī)格樣式

量測(cè)原理

反射分光法(光干涉法)、非破壞性量測(cè)

膜厚量測(cè)范圍

1~50μm(顯示上限60μm)

重復(fù)精度

2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm)

量測(cè)時(shí)間

1秒內(nèi)

量測(cè)層數(shù)

1層

數(shù)據(jù)輸出

附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案

量測(cè)Spot

Φ1mm以下

重量

約1.1kg


選配

筆型探頭

能夠測(cè)量狹窄區(qū)域或形狀的樣品。 探頭端Φ6mm。



膜厚測(cè)量范圍

1μm~50μm

測(cè)量重復(fù)性

0.01μm

測(cè)量時(shí)間

1秒以下

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